AERES

高精度鍍膜控制軟件

憑借25年的豐富經驗幫助我們的合作伙伴實現其工藝要求,我們創建了Aeres,這是一個解決薄膜沉積技術眾所周知的限制的軟件平臺。 當Aeres與我們的PVD平臺結合時,您將擁有一個智能工具,可為您節省大量時間,精力和資源。



功能強大,適用于最先進的用戶和復雜的工藝,對于每個用戶,都會使實驗變得簡單。

層次轉換效率


由于Aeres并行管理任務的能力,設備總時間大大減少

并行任務管理是后臺處理的自動和同時控制,包括源的準備,掩模和樣品轉移,功率和溫度管理以及階段準備

我們的合作伙伴反映過渡時間減少了45%,整個設備制造效率提高了30%,如下所示


預沉積 - 晶片準備,源的預熱和穩定

層控制 - 厚度,速率,擋板和源空閑

樣品臺控制 - 加熱,冷卻,旋轉,角度和偏置

氣體和壓力 - 壓力穩定性和精確的氣體輸送

自動化 - 一鍵啟動,使系統執行流程運行的所有動作,具有精確的可重復性


RECIPE控制


每一步操作都會提供統一的工藝


根據需要創建簡單或復雜的程序

使用加載的模板來使用,或從頭構建自定義序列

從遠程PC構建程序,然后將程序無縫傳輸到沉積系統PC以供使用

Aeres可以完全自主運行,或者您可以根據需要構建手動控制到程序

統一的數據管理系統收集并記錄所有相關的流程信息


高精度沉積控制


Aeres可實現令人印象深刻的低速率穩定性

用戶可調PID檢測算法(自整定)

無需手動調整PID值或花費時間進行模擬運行

大大降低了流程開發時間


實際穩定性,同時沉積普通OLED材料(Alq3),每秒0.02埃

AERES增強您的設備

所有的功能標準

建立在.NET基礎架構上,并準備好SECS / GEM

一旦配方發送到PLC,安全聯鎖,真空操作,膠片生長和晶片操作都由控制器排除,無論PC是連接還是運行

在Windows?PC上運行,具有觸摸屏兼容性

完整和徹底測試安全和互鎖系統

統一的數據管理系統收集并記錄所有相關的流程信息

單個終端可以控制多個房間,每個房間都有獨特的配方

來自Angstrom工程團隊的全程培訓和故障排除支持


Angstrom的客戶的服務水平和時效性,幾乎一天中的任何時間都會回答你的電子郵件,幫助你進行遠程服務,超出了我以前見過的。 這種互動使得我成為一個忠實的客戶。


凱西史密斯博士 - 德克薩斯州立大學


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