AMOD PVD平臺

該PVD平臺開始允許更大的室投射距離,以及適應更多過程增強的能力

基板固定和屏蔽選項


您的Amod擁有500mm x 500mm的底板,可容納多達10種來源和各種PVD工藝。 您的研究目標,生產需求和/或應用程序的最終目標將告訴您如何裝備您的Amod。 我們共同合作,設計出完全符合您要求的系統。


一個緊湊,經濟,全面的PVD工作

本視頻概述了我們與合作伙伴密切合作提供技術解決方案的一個實例

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與他們的客戶的服務水平和連接性,一天中的任何時間回答你的電子郵件,幫助你從遠方拍攝麻煩,超出了我以前見過的。 這種互動使得我成為一個難以置信的客戶。


凱西史密斯博士 - 德克薩斯州立大學


濺射

RF,DC,脈沖DC和HiPIM

圓形,線性和圓柱形陰極可用



沉積源選項

電阻式熱蒸發

多樣化的蒸發舟和加熱絲及坩堝加熱器

可編程掃描控制器確保蒸鍍速率的精確控制








電子束蒸發

各種源電源和電源選項

可編程掃描控制器配方存儲

扭矩傳感坩堝分度器檢測到卡紙

房間內有多個電子束源






等離子和離子束加工

用于清潔和電影增強的離子源范圍

輝光放電等離子體清洗







加熱和冷卻階段

可變角度階段

滾動加工

加載鎖

掩蔽/基板自動傳送

行貨運動

AERES高級過程控制軟件


易于使用的高級集成軟件平臺


PC / PLC控制的單,批或自動過程的配方


高級數據記錄和過程跟蹤確保一致和可重復的過程



高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率穩定性和一致的摻雜比



中央控制站管理每個模塊并安排每個艙室的過程



獨立控制多個室(如果適用)




復雜的食譜可以輕松創建和修改






自動PID控制回路調整可顯著縮短過程開發時間






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