恩布拉系列

Angstrom的自動化，工程精準。 這些集成真空系統專為滿足客戶的工藝要求而設計。 客戶自由選擇真空模塊的數量和類型，為未來的擴張潛力提供空間。

過程模塊選項

我們與您一起夢想，確定將潛在創新融入現實的模塊。 PVD，CVD，ALD，掩膜和自動轉移樣品，加熱/冷卻功能，有助于清潔的源，可變角度沉積和當前技術允許的其他任何技術。 連接所有模塊的集中式機器人集線器，全部由我們集成且易于使用的程序驅動軟件控制。

沒有限制！

使用等離子體或離子束源的基板清潔和制備

多個真空沉積模塊可用于PVD，CVD和ALD

手套箱環境可以集成到一個或多個模塊中

樣品臺和樣品傳遞倉可以根據需要容納25個或更多的樣品盤

使用SCARA機器人的分發模塊的大小適合您的要求

基板尺寸/貫穿

基材尺寸可達200 mm x 200 mm，可輕松容納，如果需要，可將模塊設計用于較大基材

生產產能取決程序持續時間和復雜程度。 然而，AERES軟件平臺可優化層間轉換，從而縮短整個處理時間。

AERES高級過程控制軟件

易于使用的高級集成軟件平臺

PC / PLC控制的單批或自動過程的程序

高級數據記錄和過程跟蹤確保一致和可重復的過程

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率穩定性和一致的摻雜比

中央控制站管理每個模塊并安排每個腔室的程序

獨立控制多個腔室

復雜的程序可以輕松創建和修改

自動PID控制回路調整可顯著縮短過程開發時間

從實際出貨的時間開始，這個實驗室系統幾乎完美無缺，可以說是將我們的能力擴展到世界上任何有機薄膜實驗室目前可以實現的能力之上。 我將整個系統的成功歸功于卓越的工程設計，以及Angstrom團隊的合作性，在采用我們最好的設計并使其在系統構建過程中更好。

密歇根大學Stephen Forrest博士

這個短視頻展示了Nebula Cluster系統