COVAP PVD平臺

Covap系列為許多工藝應用提供了緊湊，經濟，但仍然強大的解決方案。 專為實驗室設計，需要一個安全可靠的工具，可在緊湊的占地面積中生產可重復的高品質薄膜

過程模塊選項

沉積源之間是相互隔離的，以減少熱影響和交叉污染。 它配備了一整套可拆卸的腔室內屏蔽罩，使室內容易清潔和維護。 腔室打開時會切斷氣壓及電源，確保了最高的安全等級。 它可以集成到手套箱中或在獨立配置中選擇。

小但很強大

矩形腔室，取放樣品無障礙

材料和樣品即使在手套箱中也可以輕松安裝取放

Covap提供無障礙通道，用于去除屏幕，清潔和準備系統以進行下一次運行

可以與手套箱整合

緊湊型：系統占地面積600mm x 1000mm

可選擇2或4個源配置

程序高級多層控制

順序或共沉積

樣品臺支持最大Φ100mm的基板

全套系統培訓

QCM傳感器相互間隔離，以確保沒有相鄰源材料的干擾

渦輪分子泵提供的高真空度

2年保修期內業內最具響應能力的支持團隊

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過程模塊選項

可容易地安裝高達Φ100 mm 的基板尺寸

腔室可容納2或4個熱阻源

在我使用的所有系統中，Angstrom的是最可靠，一致和易于使用的系統。

馬克·巴爾多博士 - 麻省理工學院