電子束蒸發

具有電子束蒸發的埃斯特工程系統由我們的客戶使用以沉積各種材料。 這些材料中的一些包括作為太陽能電池應用中的電接觸的金,用于光學膜的二氧化硅,以及許多其它材料。 我們可以創建定制工具,將電子束源與其他類型的沉積方法集成,以滿足您的處理需求。

電子束(或電子束)蒸發是強大的物理氣相沉積過程,允許用戶蒸發難以甚至不可能使用標準電阻熱蒸發處理的材料。 這些材料中的一些包括高溫材料如金和鈦,以及一些陶瓷如二氧化硅和氧化鋁。

為了產生電子束,對經受高電場的燈絲施加電流。 該場導致細絲中的電子逃逸并加速離開。 然后電子被磁體聚焦以形成梁,然后將其引向包含感興趣材料的坩堝。 電子束的能量轉移到材料中,使其開始蒸發。 許多金屬,如鋁,將首先融化,然后開始蒸發,而陶瓷將升華。 然后,材料蒸氣從坩堝中出來并涂覆基材。

如果需要,可以向電子束添加可編程掃描,以允許定制加熱坩堝中的材料。 盡管一些材料,如鋁,可以容易地從電阻源蒸發,電子束蒸發源允許沉積更大量的材料,并且可以實現更高的速率。 在蒸發過程中,將坩堝放置在水冷銅爐底中,這樣可以增加坩堝壽命。 此外,如果多個材料需要順序沉積而不破壞真空,我們的電子束源可以配備多個口袋的轉盤。

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