發光薄膜控制

Apex可以與許多PVD平臺配合使用,可以實現光學監控和無縫過程控制。

從配方制作到影片的最終制作,Apex可以完全簡單地控制您的光學膠片。 30個可見光盤存儲在自動芯片更換器中,用于實現數據反饋,您可以使用可以生成350-2500納米波長的PC控制單色儀來確認您的膠片。

一個強大的工具,同時具有光學監測和沉積控制的所有方面

每一個光學性能必需的組件

系統和軟件與The Essential Macleod軟件包一起工作

End Hall離子源

帶芯片更換器的透射模式光接收器

帶單色儀的光發射機

反射模式光接收機

空心陰極電子源

所有來源和階段選項

AERES高級過程控制軟件

易于使用的高級集成軟件平臺

PC / PLC控制的單,批或自動過程的配方

高級數據記錄和過程跟蹤確保一致和可重復的過程

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率穩定性和一致的摻雜比

中央控制站管理每個模塊并安排每個艙室的過程

獨立控制多個室(適用于集群或連接配置)

復雜的食譜可以輕松創建和修改

自動PID控制回路調整可顯著縮短過程開發時間

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