過程增強技術

基板溫度控制

改進的晶界遷移，后處理退火和控制表面反應只是基板溫度控制應用的樣本。 對于您的加熱或冷卻應用，我們有幾個標準選項，以及為您的基板和溫度范圍定制解決方案的能力。

行貨運動

我們的行星臺夾具可以改善大量基板的均勻性。 通常為我們的Amod和EvoVac線路保留，行星夾具可以大大提高系統吞吐量。

我們的組合楔形快門系統提供單個或多個行和/或列在更大的襯底區域內或襯底陣列內的受控曝光。 除了您的舞臺燈具，您可以在單個工藝批次中執行層或摻雜劑變化，使其成為非常有價值的材料和工藝開發工具。 我們的客戶還使用此功能在基板上創建梯度和階梯膜。 這個功能可以添加到我們的許多舞臺燈具。

組合快門

偏置

如果您正在尋求控制膠片密度或改善附著力，偏差可能是您的工藝的解決方案。 埃斯特工程公司可以配置許多階段來包括直流或射頻偏置。

基板清潔

通過離子束或輝光放電進行原位清潔，可確保您的基底準備沉積。 為了去除天然氧化物或殘留油，請考慮為系統添加清潔過程。

我們的Angstrom系統大大增加了我們的有機光伏器件制造工藝的可重復性，并為整個開發新器件提供了靈活而強大的系統。

博士Sean Shaheen博士 - 科羅拉多大學

視頻：旋轉基板

視頻：均勻盾牌演示