過程增強技術

基板溫度控制



改進的晶界遷移,后處理退火和控制表面反應只是基板溫度控制應用的樣本。 對于您的加熱或冷卻應用,我們有幾個標準選項,以及為您的基板和溫度范圍定制解決方案的能力。

行貨運動



我們的行星臺夾具可以改善大量基板的均勻性。 通常為我們的Amod和EvoVac線路保留,行星夾具可以大大提高系統吞吐量。

我們的組合楔形快門系統提供單個或多個行和/或列在更大的襯底區域內或襯底陣列內的受控曝光。 除了您的舞臺燈具,您可以在單個工藝批次中執行層或摻雜劑變化,使其成為非常有價值的材料和工藝開發工具。 我們的客戶還使用此功能在基板上創建梯度和階梯膜。 這個功能可以添加到我們的許多舞臺燈具。

組合快門



偏置



如果您正在尋求控制膠片密度或改善附著力,偏差可能是您的工藝的解決方案。 埃斯特工程公司可以配置許多階段來包括直流或射頻偏置。

基板清潔



通過離子束或輝光放電進行原位清潔,可確保您的基底準備沉積。 為了去除天然氧化物或殘留油,請考慮為系統添加清潔過程。

我們的Angstrom系統大大增加了我們的有機光伏器件制造工藝的可重復性,并為整個開發新器件提供了靈活而強大的系統。


博士Sean Shaheen博士 - 科羅拉多大學


視頻:旋轉基板

視頻:均勻盾牌演示

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