線性爆炸物

該系列系統允許在大型基板上生產高產量，可以無縫集成到更大的生產工具集群中，并提供令人印象深刻的均勻性。

在非常大的基板上創建設備，在一個單一的運行中堆疊多層，均勻性很好。 即使目標比通常大，材料也被非常有效地利用。

把您的產品交給市場的工具

AERES高級過程控制軟件

易于使用的高級集成軟件平臺

PC / PLC控制的單，批或自動過程的配方

高級數據記錄和過程跟蹤確保一致和可重復的過程

高分辨率控制提供令人印象深刻的低速率穩定性和一致的摻雜比

中央控制站管理每個模塊并安排每個艙室的過程

獨立控制多個室（如果適用）

復雜的食譜可以輕松創建和修改

自動PID控制回路調整可顯著縮短過程開發時間